至纯科技发布2021年三季报,实现营收12.83亿元,同比增长68.71%;归母净利润1.88亿元,同比增长127.96%;扣非归母净利润0.81亿元,同比增长97.55%。其中,Q3单季实现收入3.62亿元,同比增长51.68%;归母净利润0.38亿元,同比下滑27.72%;扣非归母净利润0.38亿元,同比增长143.76%。受益于订单增长,Q3末存货较上半年末增加3.57亿元。大基金二期拟入股子公司至微科技,湿法清洗设备发展有望提速。我们预计公司2021/2022/2023年归母净利润分别为2.83亿元/3.64亿元/4.32亿元,增速分别为8.5%/28.8%/18.7%,对应当前股价的PE分别为53x/41x/35x。