电子行业研究国内半导体设备招投标月度数据跟踪第4期（2021年10月）：中微公司干法刻蚀机台中标量上升

根据报告正文，国内半导体设备招投标数据在9月有所上升，其中中微公司干法刻蚀机台中标量上升。国内晶圆厂商中芯国际、华虹半导体、华力微电子、长江存储、上海积塔半导体、上海新微、上海新硅聚合、比亚迪半导体、福建晋华、北方华创、中微公司、芯源微、至纯科技、长川科技、华兴源创、盛美半导体、精测电子、万业企业（凯世通）、晶盛机电、光力科技、ASM Pacific等设备厂商均有中标。投资建议关注半导体设备投资标的，包括上市公司和非上市公司。