这篇研报总结了芯源微的业绩、业务模式和市场前景。芯源微是一家专注于半导体专用设备研发、生产和销售的公司，是国内唯一能提供中高端涂胶显影设备的企业。公司产品涵盖光刻工序涂胶显影设备/单片式湿法设备，连续承担国家重大专项，主持制定了涂胶机、喷胶机两项行业标准，拥有优质的客户资源，成功实现了国产替代。公司业绩跨越式增长，2021H1营业收入预计超3.2亿元，接近去年全年水平，归母净利润预计同增398.59%-543.35%。芯源微在国产替代背景下，半导体设备行业弹性更大，有望伴随国产客户同步崛起。公司深耕涂胶显影/清洗设备市场，立足后道，开拓前道。预计2023年国内前后道涂胶显影设备合计市场空间将达到11亿美元，单片式清洗设备市场空间将达到8.3亿美元。芯源微产品已通过客户端的验证与改进，陆续获得上海华力、中芯绍兴、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单，国产替代将渡过起步期。公司前道晶圆加工领域用清洗机Spin Scrubber设备已在中芯绍兴、华力集成等多个客户处通过工艺验证，获得国内多家晶圆厂商的重复订单，成功实现进口替代，性能上达到国际先进水平。预计公司2021-2023年收入分别为6.5/10/14.5亿元，对应归母净利润0.92/1.7/2.2亿元，对应估值182/100/76倍，当前申万半导体PE（TTM）为91倍，以及可比公司2021年平均PE估值175倍。公司2021年PEG预计为2.0，低于可比公司平均。考虑到公司作为国内涂胶显影设备龙头，具备稀缺性，并且产品具备技术升级和国产替代加速双逻辑，随着产能瓶颈打开，公司收入体量将上一大台阶，我们认为公司低估，维持“推荐”评级。
