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中国大陆Fab厂密集扩产，多重因素综合导致2021年开始，前道设备国产商迎来新机遇。前道设备行业价值量大且集中度高，光刻/刻蚀/CVD三项设备市场规模最大。国产设备商技术逐渐成熟，国内增存量替代空间大。核心受益：北方华创、晶盛机电、中微公司、华峰测控。产业受益：屹唐半导体、上海微电子、沈阳拓荆、中科信、华海清科、盛美半导体、上海睿励、精测电子、中科飞测。风险提示：半导体需求低于预期、本土化配套进展低于预期、行业竞争加剧等风险、系统性风险。
