清洗设备大幅增长，受益国产替代成长路径明晰

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至纯科技发布2020年年报及2021年一季报，2020年实现营收13.97亿元，同比增长41.63%，归母净利润2.61亿元，同比增长136.36%；2021Q1实现营收2.31亿元，同比增长104.13%；归母净利润0.75亿元，去年同期亏损0.15亿元。公司是提供到28纳米节点全部湿法工艺的本土供应商，并拥有14nm的技术储备，能够覆盖晶圆制造中包括先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等多个细分领域的市场需求。目前公司湿法设备已经切入一线用户，包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等，单片湿法设备获得国内重要用户的多个订单，高温硫酸、晶背清洗、后段去胶、长膜前单片机型入选，进一步填补国产装备在湿法清洗领域的空白。预计公司2021-2023年净利润为3.10、4.00、4.53亿元，维持增持评级。