对日替代光刻胶三大真龙南大光电最先量产ArF鼎龙股份第二量彤程新材KrF市占率40

核心观点与关键数据

• 日本光刻胶价格上调：日本JSR、东京应化、信越化学等宣布自2026年10月1日起全球光刻胶新定价整体上调15%，其中ArF系列长协报价上调16%-22%，HBM专用浸没式ArF最高上调24%，现货散单涨幅达32%-38%；KrF系列常规牌号涨价9%-14%，3DNAND厚膜专用KrF涨幅达18%-20%。

国产光刻胶替代进展

• ArF光刻胶（先进制程）：
  • 南大光电（300346）：国内唯一实现28nm ArF干式光刻胶规模化量产，良率99.7%，对标JSR，市占率超90%；14nm浸没式ArF已通过中芯国际验证并小批量导入；现有产线满产，在建新产线2026年爬坡，总产能达550吨/年；2025年出货约42吨，2026年上半年同比增长120%，在手订单超20亿元；客户包括中芯国际、长江存储等；已通过六款ArF产品验证，同步开发KrF光刻胶。
  • 彤程新材（603650）：KrF光刻胶国内龙头，市占率超40%，全面替代东京应化KrF系列，良率98.7%；G/I线光刻胶6寸晶圆市占60%；ArF光刻胶已对国内头部12英寸晶圆厂稳定供货；2025年ArF光刻胶营收同比增长超800%；上海基地1.1万吨产能2026年满产，镇江200吨ArF产线2026年释放。
  • 鼎龙股份（300054）：2026年3月潜江二期年产300吨KrF/ArF产线投产，为国内首条全流程自主量产线；2026年上半年获得约1000加仑批量订单，8款ArF/KrF产品实现稳定批量供货；已向两家头部晶圆厂交付数百加仑浸没式ArF及KrF光刻胶。
• KrF光刻胶（成熟制程）：
  • 彤程新材：稳定月产50吨KrF。
  • 晶瑞电材（300655）：KrF光刻胶年出货180吨，稳定量产交付。
  • 鼎龙股份：获得约1000加仑批量采购订单。
  • 恒坤新材：KrF光刻胶稳定量产。
• G/I线及封装光刻胶（成熟制程/先进封装）：
  • 艾森股份：Bumping负性光刻胶完成对日企JSR产品替代，自主PSPI光刻胶拿下晶圆厂国产化首单。
  • 容大感光（300576）：KrF光刻胶完成中试验证适配28nm工艺，ArF光刻胶处于客户送样验证阶段。
  • 广信材料：配套半导体、显示光刻试剂的7000吨新建项目土建工程已完工。
• 光刻胶上游核心原材料：
  • 圣泉集团（605589）：ArF树脂2026年量产，产品应用于G/I线及封装光刻胶领域。
  • 八亿时空（688181）：光刻胶核心树脂单体国产化，百吨级KrF树脂量产。
  • 东材科技（601208）：产品覆盖G/I线、KrF等型号，已通过国内多家光刻胶企业验证并批量供货。
  • 联泓新科（003022）：丙烯酸酯、乙二醇醚等产品质量达进口同类标准，已供应国内多家光刻胶生产企业。
  • 强力新材（300429）：光引发剂全球市占率第一，2026年计划量产DUV配套材料。
• 光刻配套湿化学品：
  • 安集科技（688019）：光刻胶去除剂技术领先，已成功适配14nm先进制程。
• 其他：
  • 恒坤新材：具备12英寸晶圆配套材料量产能力，SOC、BARC等光刻辅材同步完成本土量产。
  • 久日新材：全球引发剂龙头，布局g、i线半导体光刻胶业务，数十款光刻胶产品实现商业化销售。
  • 飞凯材料（300398）：专注紫外固化光刻胶，覆盖半导体封装、显示面板领域，半导体I线/KrF验证中。

国产化率现状

• G/I线成熟光刻胶：国产化率95%，完全替代完成。
• KrF中端光刻胶：当前国产化率30%。
• ArF高端光刻胶：当前国产化率8%-10%。
• EUV光刻胶：国内全部处于实验室/中试阶段，5年内无大规模量产可能。