至纯科技是一家专注于集成电路及泛半导体产业的高纯工艺系统提供商，同时为生物制药等领域提供核心装备。公司成立于2000年，总部位于上海，并在全球设有研发设计子公司，拥有上海市市级企业技术中心和院士专家工作站。
业绩情况
2024年公司实现收入36.05亿元，同比增长14.4%，但归母净利润约2,360万元，同比下降较多。2025年一季度实现收入7.28亿元，净利润1,902万元。近年来公司经营性现金流持续流出，2023-2024年分别流出约8亿元和4.6亿元，2025年一季度流出约6,200万元，公司正加强现金流管理并取得初步成效。
业务发展
- 高纯工艺业务：公司系统集成及支持设备国内龙头地位稳固，2024年出货各类高纯特气设备和高纯化学品设备超过1万台。2016-2024年中国大陆主流12寸晶圆厂41次特气中标中，公司市占率48.8%，化学品设备及系统市占率超30%。
- 湿法设备业务：2024年发布S300-D湿法设备新平台，提升生产效率30%，覆盖SPM、背面蚀刻等关键工艺。高温硫酸SPM设备成为国产首台大规模量产12英寸硫酸清洗机，单机累计产量超70万片次。公司湿法设备已覆盖大部分核心客户，并在28纳米节点率先实现全工艺覆盖，逐步替代国外厂商。
- 电子材料业务：2024年营收1.64亿元，同比增长165.09%。国内首座完全国产化12英寸晶圆大宗气体供应工厂已稳定运行，打破了国际供应商垄断格局，第二座大宗气站于2024年上半年投产。
研发投入
公司研发投入从2017年的0.13亿元增长至2024年的4.42亿元，累计研发投入超15亿元。重点投入湿法单片设备研发，覆盖前中后段全部湿法工艺。2016年以来，公司在高纯设备领域实现全面国产替代，服务产业高速发展。截至2024年末，公司累计申请专利845件（发明专利350件），已授权专利577件（发明专利182件）。
供应链与技术替代
公司2020年8月起启动设备全面去美方案，2021年中达成，基本实现自主可控。目前S300D产品部件自产自用比例达70%-80%。公司通过订单牵引、合作开发等举措培养本土供应链，支持业务持续发展。
未来增长点
公司将持续聚焦先进制程产品与服务，布局黏度更高的电子材料、专有服务等业务板块。收购威顿晶磷事项正在推进中，未来将围绕“工艺-设备-材料”三位一体发展，提升半导体设备业务比重。
行业前景
公司认为行业已进入精细化发展阶段，未来将聚焦先进制程产品与服务，抓住集成电路产业大力发展的机遇。
