在SEMI China 2025 IC产业链国际论坛上，新凯来工业机器有限公司工艺装备产品线总裁杜立军指出，AI、智能驾驶等产业对算力需求的增长正推动半导体装备市场稳步发展。未来装备新技术演进方向将聚焦于更高能量控制精度、更快硬件响应速度以及更大工艺窗口。以射频/等离子体场为例，从7纳米到3纳米的演进过程中，预计能量控制精度将提升10倍，硬件响应速度将从10毫秒缩短至1毫秒。新凯来基于“一代工艺、一代材料、一代装备”的设计理念，已成功开发出刻蚀产品、扩散产品、薄膜产品以及物理量测产品、X射线量测产品、光学量检测产品6大类工艺和量检测装备，覆盖先进逻辑和存储领域，并支持向更先进节点持续演进。
