同时参与euv的研发工作，是目前能看到的最核心的光刻机标的。 【福晶科技】和hw合作的光刻机公司至期光子，参与了目前国内一半的duv光刻机光源系统、照明系统以及物镜系统的研发制造，单台duv的asp极高，国产duv每年需求约80-100台。 同时参与euv的研发工作，是目前能看到的最核心的光刻机标的。
