长存加速转向国产设备，刻蚀设备龙头显著受益

2024年09月22日 公司研究●证券研究报告 中微公司（688012.SH） 公司快报 长存加速转向国产设备，刻蚀设备龙头显著受益投资要点长江存储加速转向国产设备取代美系设备，中微公司等国产半导体设备厂商有望受益。 长存加速转向国产设备，刻蚀设备龙头显著受益 2024年9月20日，中微公司发布公告，宣布倪图强先生因个人原因，申请辞去公司副总经理、核心技术人员职务；杨伟先生因个人原因，申请辞去公司核心技术人员职务。辞职后，倪图强先生、杨伟先生仍在公司任职。公司认为，本次核心技术人员的变动不会对公司现有项目研发进展、持续经营能力、核心竞争力产生重大不利影响。中微公司是国产刻蚀设备龙头，同时积极布局薄膜设备、检测设备，平台化建设稳步推进。截至24H1，公司发出商品余额和合同负债余额分别为27.66亿元和25.35亿元，较2023年末分别增长18.98亿元和17.64亿元。公司目前在手订单充足，预计2024年前三季度的累计新增订单超75亿元，同比增长超50%；预计2024年累计新增订单将达110-130亿元，全年付运台数将同比增长200%以上。彭博社援引TechInsights的报道称，在美国于2022年10月限制先进半导体设备对华出口，并于2022年底将中国3DNANDFlash制造商长江存储列入实体清单近两年之后，长江存储仍在稳步发展，并已成功采用中微公司、北方华创等厂商的国产半导体设备取代部分美系半导体设备。目前长江存储已在ZhiTaiTiPlus7100BlackMythSSD中成功应用其Xtacking4.0工艺。 刻蚀设备市占率大幅提升，高深宽比技术持续精进 24H1刻蚀设备收入为26.98亿元，同比增长56.68%，营收占比提升至78.26%；新增订单39.4亿元，同比增长约50.7%。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，CCP和ICP刻蚀设备的销售增长和在国内主要客户芯片生产线上市占率均大幅提升。目前针对逻辑和存储芯片制造中最关键刻蚀工艺的多款设备已在客户产线展开验证。CCP：截至24H1，公司累计生产付运超过3600个CCP刻蚀反应台，24H1新增付运设备数量创历史新高；其中双反应台中PrimoD-RIE/AD-RIE/AD-RIE-e24H1新增付运量超2023年全年付运量，单反应台PrimoHD-RIE/HD-RIEe/UD-RIE24H1付运量较2023年全年增加约3倍。PrimoAD-RIE-e持续付运用于最先进的逻辑芯片生产线，同时取得先进存储生产线的重复订单。PrimoSD-RIE在首家先进逻辑客户端针对金属掩膜一体化大马士革刻蚀工艺的验证进入良率测试阶段，已进入第二家客户开展现场验证；并与多家客户达成评估意向，目前实验室开发进展顺利。PrimoUD-RIE已在生产线验证出具有刻蚀≥60:1深宽比结构的量产能力。此外，公司积极布局超低温刻蚀技术，在超低温静电吸盘和新型刻蚀气体研究上投入大量资源，积极储备更高深宽比结构（≥90:1）刻蚀的前卫技术。ICP：多款ICP设备在先进逻辑芯片、先进DRAM和3DNAND产线验证推进顺利并陆续取得客户批量订单。NanovaVEHP在DRAM制造中的的高深宽比多晶硅 电子|半导体设备Ⅲ 投资评级买入-A(维持)股价(2024-09-20)120.51元交易数据总市值（百万元）74,873.53流通市值（百万元）74,873.53总股本（百万股）621.31流通股本（百万股）621.3112个月价格区间169.50/113.50一年股价表现 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益-11.57-11.50.98绝对收益-15.2-19.93-11.85 分析师孙远峰 SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn 分析师王海维 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn 报告联系人吴家欢 wujiahuan@huajinsc.cn 相关报告中微公司：全年业绩续创新高，打造刻蚀/薄膜/检测三大增长引擎-华金证券-电子-中微公司-公司快报2024.3.24中微公司：刻蚀龙头全年业绩高增，在手订单充沛未来可期-华金证券+电子+中微公司+公司快报2024.1.17 掩膜应用上，投入大量产。LUX逐步在多个客户的产线上实现小量产。PrimoTwinStar®则在海内外客户的成熟逻辑芯片、AR眼镜用的超透镜MetaLens等特色器件的产线上实现量产，并取得重复订单。首台Primo-TwinStar®200也付到客户端开展MetaLens的产线上认证。PrimoTSV200E®/300E®在成熟市场继续获得重复订单的同时，在12英寸的3D芯片的硅通孔刻蚀工艺上得到成功验证，并在欧洲客户新建的世界首条12英寸微机电系统芯片产线上获得认证的机会。晶圆边缘Bevel刻蚀设备完成开发，即将进入客户验证。 薄膜沉积设备：公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，并已完成多家逻辑和存储客户对CVD/HAR/ALDW钨设备的验证，取得了客户订单。EPI设备研发团队已形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案；目前EPI设备已顺利进入客户验证阶段。24H1公司新品LPCVD设备实现首台销售，收入0.28亿元；LPCVD新增订单1.68亿元。 投资建议：鉴于公司持续维持高研发投入，我们调整此前对公司的利润预测。预计2024年至2026年，公司营收分别为83.68/111.63/145.92亿元，增速分别为33.6%/33.4%/30.7%；归母净利润分别为18.10/23.96/32.35亿元（前值为20.33/26.20/34.14亿元），增速分别为1.4%/32.4%/35.0%；PE分别为41.4/31.2/23.1。中微持续推进平台型设备公司建设，实现了刻蚀设备全面覆盖，薄膜设备领域侧重于导体/半导体层的薄膜沉积设备，投资上海睿励布局检测设备，三大产品线持续注入强劲增长动力。持续推荐，维持“买入-A”评级。 风险提示：新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，晶圆厂产能扩充进度不及预期的风险，系统性风险等。 财务数据与估值会计年度 2022A 2023A 2024E 2025E 2026E 营业收入(百万元) 4,740 6,264 8,368 11,163 14,592 YoY(%) 52.5 32.1 33.6 33.4 30.7 归母净利润(百万元) 1,170 1,786 1,810 2,396 3,235 YoY(%) 15.7 52.7 1.4 32.4 35.0 毛利率(%) 45.7 45.8 46.0 46.1 46.2 EPS(摊薄/元) 1.88 2.87 2.91 3.86 5.21 ROE(%) 7.5 10.0 9.3 11.0 12.9 P/E(倍) 64.0 41.9 41.4 31.2 23.1 P/B(倍) 4.8 4.2 3.8 3.4 3.0 净利率(%) 24.7 28.5 21.6 21.5 22.2 数据来源：聚源、华金证券研究所 财务报表预测和估值数据汇总 资产负债表(百万元)利润表(百万元) 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 流动资产 14655 15087 20605 22436 26281 营业收入 4740 6264 8368 11163 14592 现金 7326 7090 10395 9925 12063 营业成本 2572 3393 4519 6017 7851 应收票据及应收账款 713 1213 1576 1912 2257 营业税金及附加 15 12 14 18 22 预付账款 35 112 141 197 245 营业费用 409 492 527 614 730 存货 3402 4260 6761 8281 9165 管理费用 236 344 418 536 613 其他流动资产 3180 2411 1732 2120 2552 研发费用 605 817 1155 1563 2043 非流动资产 5380 6438 7170 7742 8271 财务费用 -151 -87 -101 -119 -132 长期投资 979 1020 1040 1050 1060 资产减值损失 -26 -21 -30 -37 -40 固定资产 336 1988 2673 3109 3503 公允价值变动收益 63 -203 -28 -20 0 无形资产 909 1193 1227 1257 1281 投资净收益 74 787 82 64 46 其他非流动资产 3155 2238 2230 2327 2428 营业利润 1263 1980 2005 2659 3591 资产总计 20035 21526 27775 30178 34553 营业外收入 0 33 5 0 0 流动负债 3919 3624 5749 6429 8256 营业外支出 5 3 1 0 0 短期借款 0 0 0 0 0 利润总额 1259 2010 2009 2659 3591 应付票据及应付账款 960 1305 2144 2484 3124 所得税 91 226 201 266 359 其他流动负债 2959 2319 3604 3945 5132 税后利润 1168 1784 1808 2393 3232 非流动负债 633 79 2579 1954 1329 少数股东损益 -2 -2 -2 -3 -3 长期借款 500 0 2500 1875 1250 归属母公司净利润 1170 1786 1810 2396 3235 其他非流动负债 133 79 79 79 79 EBITDA 1201 1960 2002 2685 3613 负债合计 4552 3702 8328 8383 9585 少数股东权益 -1 -3 -5 -8 -11 主要财务比率 股本 616 619 621 621 621 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 资本公积 12647 13317 13317 13317 13317 成长能力 留存收益 2218 3880 5641 7957 11057 营业收入(%) 52.5 32.1 33.6 33.4 30.7 归属母公司股东权益 15484 17826 19452 21802 24979 营业利润(%) 11.4 56.8 1.2 32.6 35.0 负债和股东权益 20035 21526 27775 30178 34553 归属于母公司净利润(%) 15.7 52.7 1.4 32.4 35.0 获利能力 现金流量表(百万元) 毛利率(%) 45.7 45.8 46.0 46.1 46.2 会计年度2022A2023A2024E2025E2026E 净利率(%) 24.7 28.5 21.6 21.5 22.2 经营活动现金流 618 -977 281 870 3472 ROE(%) 7.5 10.0 9.3 11.0 12.9 净利润 1168 1784 1808 2393 3232 ROIC(%) 6.2 8.7 7.1 9.0 11.1 折旧摊销 129 162 214 258 301 偿债能力 财务费用 -151 -87 -101 -119 -132 资产负债率(%) 22.7 17.2 30.0 27.8 27.7 投资损失 -74 -787 -82 -64 -46 流动比率 3.7 4.2 3.6 3.5 3.2 营运资金变动 -604 -2589 -1579 -1619 118 速动比率 2.8 2.8 2.2 1.9 1.8 其他经营现金流 150 541 22 20 0 营运能力 投资活动现金