中邮有色东方钽业铌超导腔可用于同步辐射光源攻关先进制程1

1、近日，国家大基金3期出台，重点支持先进制程、先进封装等方向，光刻机作为半导体产业皇冠上的明珠是核心攻关环节。2、目前先进制程主要依赖极紫外（EUV）光刻这唯一路径，极紫外波长的激光器光源是最核心的部件之一，由美国Cymer公司制造，有极高的技术壁垒。3、我国在怀柔等地区建设的同步辐射光【中邮有色】东方钽业：铌超导腔可用于同步辐射光源，攻关先进制程1、近日，国家大基金3期出台，重点支持先进制程、先进封装等方向，光刻机作为半导体产业皇冠上的明珠是核心攻关环节。2、目前先进制程主要依赖极紫外（EUV）光刻这唯一路径，极紫外波长的激光器光源是最核心的部件之一，由美国Cymer公司制造，有极高的技术壁垒。3、我国在怀柔等地区建设的同步辐射光源具有高亮度、高相干性、高能谱分辨率等优势，可在现阶段暂时取代高功率激光器，用以攻克极紫外光刻以外的相关技术，为商业化生产提供技术积累。4、公司生产的铌超导腔作为粒子加速器的核心部件，被广泛应用于同步辐射光源、自由电子激光、散列中子源等大科学装置，募投项目投产后产能可扩至100支/年，市场空间广阔。 风险提示：技术迭代风险，项目建设不及预期风险等