国内ALD设备领航者，国产替代助力业绩长期向好

微导纳米(688147.SH) 电子 2023年09月17日 国内ALD设备领航者，国产替代助力业绩长期向好 推荐（首次） 股价：44.87元 主要数据 行业电子 公司网址www.leadmicro.com 大股东/持股无锡万海盈投资合伙企业(有限合 伙)/51.18% 实际控制人王磊,倪亚兰,王燕清 总股本(百万股)454 平安观点： ALD设备龙头企业，光伏、半导体业务共同成长。公司成立于2015年， 核心业务为先进微纳米薄膜沉积设备的研发与应用，主要产品ALD设备可广泛应用于下游光伏、半导体、柔性电子等领域，2022年12月公司在科创板上市。业绩方面，2018-2022年，公司营收从0.42亿元增长到6.85亿元，年复合增长率为101.0%，2023年上半年，公司营收为3.82亿元，同比增长145.5%，公司业绩增长势头迅猛。此外，公司IPO募投项目预计将新增年产120台光伏、柔性电子领域的ALD设备以及年产40套半导体ALD设备的产能，助力公司业绩持续快速增长。 ALD设备性能优异，国产替代空间广阔。ALD通过脉冲前驱体化学气相 流通A股(百万股)40 流通B/H股(百万股) 总市值（亿元）204 流通A股市值(亿元)18 每股净资产(元)4.47 资产负债率(%)64.0 反应实现单原子层级薄膜沉积，具备精确的膜厚控制能力以及优秀的台阶覆盖率，在光伏、半导体制造工艺中有广泛应用。光伏领域，国产ALD厂商已基本实现国产替代并在国际竞争中占据优势；半导体领域，目前ALD设备国产化率极低，国内市场主要被ASM、TEL等国外厂商占据， 国产替代空间广阔。 行情走势图 证券分析师 付强投资咨询资格编号 S1060520070001 FUQIANG021@pingan.com.cn 闫磊投资咨询资格编号 S1060517070006 YANLEI511@pingan.com.cn 徐勇投资咨询资格编号 S1060519090004 XUYONG318@pingan.com.cn 徐碧云投资咨询资格编号 S1060523070002 XUBIYUN372@pingan.com.cn 受益N型电池扩产，公司光伏业务有望持续高增。N型电池加速扩产， TOPCon、HJT等路线需求明确，薄膜沉积设备在TOPCon、HJT等路线价值占比较高，上游光伏设备公司深度受益。公司率先将ALD设备规模化应用于国内光伏电池产线中，拥有ALD、PECVD、扩散退火炉以及TOPCon电池工艺整线等丰富的产品组合，稳居国内领先地位，且公司光伏镀膜产品在产能、均匀性、碎片率等指标上也颇具竞争优势，与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系，得到了客户的广泛认可。随着新一代太阳能电池技术扩产节奏逐渐进入白热化阶段，对光伏ALD设备的需求旺盛，公司光伏业务将持续受益。 2021A 2022A 2023E 2024E 2025E 营业收入(百万元) 428 685 1478 3467 4560 YOY(%) 36.9 60.0 116.0 134.5 31.5 净利润(百万元) 46 54 137 361 515 YOY(%) -19.1 17.4 152.1 164.6 42.7 毛利率(%) 45.8 42.3 40.2 39.0 38.7 净利率(%) 10.8 7.9 9.2 10.4 11.3 ROE(%) 5.2 2.8 6.5 14.7 17.3 EPS(摊薄/元) 0.10 0.12 0.30 0.79 1.13 P/E(倍) 442.2 376.6 149.4 56.5 39.6 P/B(倍) 23.1 10.4 9.7 8.3 6.9 半导体先进技术蓬勃发展，叠加国产化替代需求，公司半导体ALD设备有望加速放量。半导体先进技术如HKMG、多重曝光、先进DRAM、高 公 司报告 公 司首次覆盖报告 证券研究报告 堆叠层数3DNAND等对半导体ALD设备产生了的可观的需求，市场规模稳步增长，且目前美国对华制裁不断加剧，国产化替代主线坚挺，在先进技术快速发展及国产化替代趋势的背景下，国内ALD设备厂商深度受益。公司半导体ALD产品产业化进程迅速，已率先将High-k栅氧薄膜工艺应用于逻辑28nm制程，并获得客户重复订单，同时公司后续推出的应用于逻辑芯片、传统和新型存储芯片、CMOS芯片、MEMS等领域的多款ALD设备也陆续取得客户订单，未来半导体业务板块将成为公司业绩提升的重要发力点。 在手订单充裕，业绩增长确定性强。截止2023年中，公司在手订单共计62.53亿元，其中光伏设备订单56.21亿元，半导体设备订单5.48亿元，其他设备订单8461万元，公司在手订单充裕，且增速迅猛，后劲十足，未来业绩快速增长的确定性强。 投资建议：公司是国内ALD设备龙头，CVD设备也在积极布局，产品可广泛应用于光伏、半导体、柔性电子等领域，产品性能卓越，客户资源优质，近年业绩快速增长。光伏业务方面，公司在手订单充沛，新技术布局丰富，未来有望持续受益于光伏电池片的扩产；半导体业务方面，公司技术与产业化能力在国内较为稀缺，产品在逻辑、存储等诸多 领域均取得客户订单，未来有望持续受益国产化替代浪潮。我们预计公司2023-2025年EPS分别为0.30元、0.79元和1.13元，对应9月14日收盘价的PE分别为149.4X、56.5X、39.6X。公司产品类别丰富，技术竞争力强，我们持续看好公司的发展，首次覆盖，给予“推荐”评级。 风险提示：1、技术迭代及新产品开发风险。技术及应用领域的不断发展促使下游客户对薄膜沉积设备的性能要求不断变化，如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要。2、下游需求可能存在波动的风险。公司产品主要应用于半导体和光伏行业，如果半导体产业周期性波动或光 伏产业扩产节奏放缓导致对设备的需求降低，可能对公司的经营业绩产生不利影响。3、国际贸易摩擦加剧的风险。全球产业链和供应链重新调整及贸易摩擦等因素可能导致国外供应商减少或者停止对公司零部件的供应，进而影响公司产品生产能力、生产进度和交货时间，可能对公司的经营产生不利影响。 正文目录 一、ALD设备龙头企业，光伏、半导体业务共同成长6 1.1国内ALD设备领航者，光伏、半导体、柔性电子全面布局6 1.2公司股权结构清晰，核心管理团队技术背景雄厚7 1.3公司业绩稳步增长，光伏领域贡献当下主要收入8 1.4募投项目10 二、ALD：镀膜质量优异，广泛应用于半导体、光伏等领域10 三、受益N型电池扩产，公司光伏业务有望持续高增11 3.1光伏市场需求方兴未艾，N型电池为当下扩产的主要路线11 3.2薄膜沉积是光伏电池片核心设备之一，已基本实现国产化12 3.3公司是光伏ALD设备龙头企业，在手订单充裕且增速迅猛14 四、半导体ALD设备领军者，深度受益国产化替代16 4.1半导体ALD设备市场空间广阔，国产替代机遇渐显16 4.2ALD设备在先进制程中地位凸显，广泛应用于逻辑、存储、TSV封装18 4.3半导体ALD设备全面开花，将为公司业绩贡献巨大增量20 五、盈利预测及估值分析22 5.1基本假设22 5.2盈利预测23 5.3估值分析23 5.4投资建议24 六、风险提示24 图表目录 图表1公司发展历程6 图表2公司近年研发投入情况（万元）7 图表3公司知识产权情况（截止2023年年中）7 图表4公司股权结构情况（截止2023年年中）7 图表5公司实控人、高级管理人员、核心技术人员履历（部分）8 图表6公司近年营业收入情况（亿元）8 图表7公司近年净利润情况（亿元）8 图表8公司近年研发费用情况（亿元）9 图表9公司近年期间费用率情况（%）9 图表10公司近年整体及各业务毛利率情况（%）9 图表11公司与同行业毛利率对比（%）9 图表13薄膜沉积设备分类10 图表14ALD设备技术原理11 图表15ALD设备应用场景11 图表162017-2022年全球光伏新增装机量（GW）12 图表172017-2022年国内光伏新增装机量（GW）12 图表18各类光伏电池技术市占比变化趋势（%）12 图表19PERC/TOPCon技术工艺流程及所需设备对比13 图表20近年上市公司的光伏项目及设备投资明细13 图表22公司TOPCon电池系列产品14 图表23公司在光伏领域的产品布局14 图表27全球半导体销售额（亿美元）16 图表28全球半导体设备市场规模（亿美元）16 图表29国内半导体设备市场规模（亿美元）17 图表30近年海外对国内半导体行业制裁情况（部分）17 图表312022年半导体前道设备价值量占比（%）18 图表32薄膜沉积各类设备价值量占比（%）18 图表33ALD设备市场格局@202118 图表34国内外半导体薄膜沉积设备厂商基本情况对比18 图表35逻辑芯片各制程ALD应用环节数量（个）19 图表36存储芯片ALD应用环节数量（个）19 图表37ALD设备应用于SADP工艺19 图表38存储芯片高深宽比结构示意图20 图表39ALD设备在3DNAND中的应用20 图表40公司在半导体领域的产品布局21 图表41公司半导体ALD设备与同行对比情况21 图表42公司半导体工艺设备在手订单结构@2022Q3（%）22 图表43公司各业务板块盈利预测23 图表44公司相对估值对比23 一、ALD设备龙头企业，光伏、半导体业务共同成长 1.1国内ALD设备领航者，光伏、半导体、柔性电子全面布局 微导纳米成立于2015年，总部位于无锡，2022年12月在科创板上市。公司专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用，核心产品为ALD设备，主要应用于光伏电池、半导体和柔性电子等领域。公司发展历程中的关键节点总结如下：2016年底公司完成第一台ALD设备原型机的研发，2017-2018年公司光伏ALD设备KF6000在光伏龙头通威太阳能量产验证，2018年公司启动半导体ALD设备研发，2019-2020年公司半导体ALD设备研发完成并与客户签订订单，2021年公司量产型High-kALD设备成功应用于28nm节点生产线，2022年公司研发的首条GW级TOPCon工艺整线完成客户验收。 图表1公司发展历程 资料来源：公司公告，平安证券研究所 当前公司产品主要应用于光伏领域，半导体有望打开其进一步成长空间。光伏领域，公司率先将ALD规模化应用于国内光伏电池产线中，已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一，在PERC、TOPCon、XBC、异质结/钙钛矿叠层电池等高效电池技术发展过程中起着重要作用，下游客户包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等光伏产 业头部厂商，在手订单屡创新高。半导体领域，公司ALD产品产业化进程迅速，目前已经与国内多家头部半导体厂商建立深度合作关系，其推出的应用于逻辑、传统和新型存储等领域的多款ALD设备已取得了客户订单，其中最具代表性的案例为，公司率先研制的High-k栅氧薄膜工艺系统（国内28nm制程中难度最大的工艺之一）获得客户重复订单；此外，公司新开发的CVD设备产品也已经发往客户进行试样验证。柔性电子领域，公司自主研发的FlexGuard系列卷对卷ALD系统可在大幅宽的材料表面沉积高性能阻隔层，有效保护OLED器件的性能和寿命，目前已经实现产业化应用。 公司重视自主研发，已掌握多项核心技术，并建立了较为完善的专利壁垒。公司自成立以来一直重视研发工作，通过不断技术改进、技术创新，在以ALD技术为核心的薄膜沉积技术领域形成了多项核心技术和科技成果，并应用于公司主营业务， 实现了科技成果与产业的深度融合。公司重视研发力量的投入，2019-2022年公司研发投入从3109万元增长到1.38亿元，年复合增长率达到64.5%；公司在研发方面的资源倾斜，促使其在较短时间内实现了产品与工艺的突破升级，成功掌握了原子层沉