半导体材料：KrF、ArF光刻胶将为兵家必争之地，中高端光刻胶国产替代任重道远

2023年07月18日 行业研究●证券研究报告 半导体材料 行业快报 KrF、ArF光刻胶将为兵家必争之地，中高端光刻胶国产替代任重道远事件点评集微网消息，美国时间7月14日晚9点30分左右，光刻胶供应商陶氏化学（DowsChemical）位于路易斯安那州的普拉克明工厂发生爆炸。光刻胶品种众多，依据工艺条件选取相应品种。光刻胶能够利用光化学反应，经过曝光、显影等光刻工艺，将所需微细图形从掩模版转移到待加工基片上。半导体光刻胶使用主要取决于制程，通常越先进制程相应需要使用越短曝光波长光刻胶，以达到特征尺寸微小化。G/I线、KrF光刻胶均为成熟制程用光刻胶，G/I线光刻胶主要用于高压汞灯光源光刻工艺，对应工艺制程为350nm及以上；KrF光刻胶主要用于KrF激光光源光刻工艺，对应工艺制程250-150nm；ArF光刻胶主要用于DUV光刻工艺，可用于130-14nm芯片工艺制程，其中干法主要用于130-65nm工艺，浸没式主要用于65-14nm工艺。高端光刻胶需求增加，国内外厂商将逐鹿KrF、ArF光刻胶。摩尔定律趋近极限，半导体制造制程进步使得所对应光刻加工特征尺寸（CD）不断缩小，配套光刻胶也逐渐由G线(436nm)→I线(365nm)→KrF(248nm)→ArF(193nm)→F2(157nm)方向转移，从而满足IC制造更高集成度要求。制造8寸、12寸晶圆需使用KrF、ArF光刻胶，全球8寸/12寸晶圆厂扩产将带动KrF、ArF光刻胶需求。根据SEMI数据，2026年全球300mm（12寸）晶圆厂产能有望提高至960万片/月；全球半导体制造商预计将从2021年到2025年将200mm晶圆厂产能提高20%，新增13条200mm生产线，产能有望超700万片/月，故未来KrF、ArF光刻胶将成为国内外厂商主要竞争市场。根据TECHCET数据，2025年，KrF/ArF光刻胶市场规模分别为9.07/10.72亿美元。美日厂商垄断光刻胶市场，市场高度集中，国内厂商多集中于中低端市场。根据ResearchAndMarkets数据，2021年日本合成橡胶（JSR）、东京应化 （TOK）、杜邦、信越化学、住友化学等五大厂商垄断近85%市场份额，且日本厂商占比超过70%。目前国内厂商主要以紫外宽谱、g线、i线等产品为主，国内厂商在该等产品领域已经占据一定市场份额，而在KrF、ArF/ArFi、EUV等中高端光刻胶领域，仍主要依赖于进口，国内企业大多还在积极研发、验证中，尚未大规模量产出货。其中，彤程新材KrF产品在Poly、AA、Metal、TM/TV、Thick、Implant、ContactHole等工艺市占率持续攀升；华懋科技ArF光刻胶26款，涵盖65nm、55nm、40nm、28nm及以下关键层工艺以及LOGIC、3DNAND、DRAM等应用领域，KrF光刻胶30款，涵盖55nm、40nm、28nm及以下关键层工艺以及集成电路、分立器件、传感器等应用领域；南大光电ArF光刻胶及配套材料项目所需光刻车间和生产线已建成，验证工作正在多家下游主要客户稳步推进；晶瑞电材ArF高端光刻胶研发工作在有序开展中，KrF高端光刻胶部分品种已量产；上海新阳KrF光刻胶已经在超10家客户端提供样品进 投资评级领先大市-A首次首选股票评级一年行业表现 资料来源：聚源 升幅%1M3M12M相对收益2.67-2.1417.69绝对收益0.24-8.948.71 分析师孙远峰 SAC执业证书编号：S0910522120001sunyuanfeng@huajinsc.cn 分析师王海维 SAC执业证书编号：S0910523020005wanghaiwei@huajinsc.cn 相关报告江丰电子：H1营收同增超10%，产品线横向拓展+产业链纵向延伸战略，塑造公司增长动能-江丰电子快报2023.7.16半导体：需求彩彻区明，各厂商加速入局GaN市场-氮化镓行业快报2023.7.10天岳先进：产品+产能+订单+技术稳固基本盘，液相法获得突破-天岳先进快报2023.7.4南芯科技：XR进入百家争鸣时代，南芯为AR快充保驾护航-南芯科技快报2023.6.26半导体：大模型如雨后春笋，算力需求促CXL加速渗透-半导体2023.6.20半导体：AI芯片再添劲旅，CoWoS封装正当其时-先进封装2023.6.14半导体：AI赋能EDA工具新发展，国产替代行则将至-EDA软件2023.6.12 行测试验证，并取得部分样品订单，通过测试验证，ArF浸没式光刻胶研发进展顺利，实验室样品目前取得数据指标与对标产品大部分接近。 投资建议：建议关注国内研发能力强，光刻胶产品通过验证且已进入半导体制造厂商供应链龙头公司。 风险提示：宏观经济形势变化风险致使产业链受到冲击；光刻胶厂商研发进度不及预期；光刻胶国产替代进程不及预期。 行业评级体系 收益评级： 领先大市—未来6个月的投资收益率领先沪深300指数10%以上； 同步大市—未来6个月的投资收益率与沪深300指数的变动幅度相差-10%至10%； 落后大市—未来6个月的投资收益率落后沪深300指数10%以上；风险评级： A—正常风险，未来6个月投资收益率的波动小于等于沪深300指数波动； B—较高风险，未来6个月投资收益率的波动大于沪深300指数波动； 分析师声明 孙远峰、王海维声明，本人具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格，勤勉尽责、诚实守信。本人对本报告的内容和观点负责，保证信息来源合法合规、研究方法专业审慎、研究观点独立公正、分析结论具有合理依据，特此声明。 本公司具备证券投资咨询业务资格的说明 华金证券股份有限公司（以下简称“本公司”）经中国证券监督管理委员会核准，取得证券投资咨询业务许可。本公司及其投资咨询人员可以为证券投资人或客户提供证券投资分析、预测或者建议等直接或间接的有偿咨询服务。发布证券研究报告，是证券投资咨询业务的一种基本形式，本公司可以对证券及证券相关产品的价值、市场走势或者相关影响因素进行分析，形成证券估值、投资评级等投资分析意见，制作证券研究报告，并向本公司的客户发布。 免责声明： 本报告仅供华金证券股份有限公司（以下简称“本公司”）的客户使用。本公司不会因为任何机构或个人接收到本报告而视其为本公司的当然客户。 本报告基于已公开的资料或信息撰写，但本公司不保证该等信息及资料的完整性、准确性。本报告所载的信息、资料、建议及推测仅反映本公司于本报告发布当日的判断，本报告中的证券或投资标的价格、价值及投资带来的收入可能会波动。在不同时期，本公司可能撰写并发布与本报告所载资料、建议及推测不一致的报告。本公司不保证本报告所含信息及资料保持在最新状态，本公司将随时补充、更新和修订有关信息及资料，但不保证及时公开发布。同时，本公司有权对本报告所含信息在不发出通知的情形下做出修改，投资者应当自行关注相应的更新或修改。任何有关本报告的摘要或节选都不代表本报告正式完整的观点，一切须以本公司向客户发布的本报告完整版本为准。 在法律许可的情况下，本公司及所属关联机构可能会持有报告中提到的公司所发行的证券或期权并进行证券或期权交易，也可能为这些公司提供或者争取提供投资银行、财务顾问或者金融产品等相关服务，提请客户充分注意。客户不应将本报告为作出其投资决策的惟一参考因素，亦不应认为本报告可以取代客户自身的投资判断与决策。在任何情况下，本报告中的信息或所表述的意见均不构成对任何人的投资建议，无论是否已经明示或暗示，本报告不能作为道义的、责任的和法律的依据或者凭证。在任何情况下，本公司亦不对任何人因使用本报告中的任何内容所引致的任何损失负任何责任。 本报告版权仅为本公司所有，未经事先书面许可，任何机构和个人不得以任何形式翻版、复制、发表、转发、篡改或引用本报告的任何部分。如征得本公司同意进行引用、刊发的，需在允许的范围内使用，并注明出处为“华金证券股份有限公司研究所”，且不得对本报告进行任何有悖原意的引用、删节和修改。 华金证券股份有限公司对本声明条款具有惟一修改权和最终解释权。风险提示： 报告中的内容和意见仅供参考，并不构成对所述证券买卖的出价或询价。投资者对其投资行为负完全责任，我公司及其雇员对使用本报告及其内容所引发的任何直接或间接损失概不负责。 华金证券股份有限公司办公地址： 上海市浦东新区杨高南路759号陆家嘴世纪金融广场30层 北京市朝阳区建国路108号横琴人寿大厦17层 深圳市福田区益田路6001号太平金融大厦10楼05单元电话：021-20655588 网址：www.huajinsc.cn