中微公司2022年前三季营收同比增长47%达30.4亿元,归母扣非净利润同比增长290%至6.4亿元。前三季新签订单金额同比增长60%达56.4亿元;合同负债继续提升,三季度末达19.7亿元。刻蚀设备维持高增长,MOCVD受益于Mini LED市场增长。公司有超过十年单晶硅外延设备的经验,正研发硅和锗硅集成电路的EPI设备,也正在开发导体类LPCVD和导体类ALD,逐步突破薄膜沉积设备200亿美元大赛道。预测公司2022-2024年每股收益分别为1.70、2.28、3.17元,采用绝对估值法(FCFF),给予180.46元目标价,维持买入评级。