中国半导体清洗设备巨头高速成长，气体等半导体服务业务空间广阔

至纯科技是中国半导体清洗设备巨头企业。公司主业包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。至纯科技半导体湿法清洗设备控股子公司至微科技通过增资扩股引入战略投资者，目前战略投资者持有至微科技比例约22%，增资方包括大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡、远致星火等。公司2022H1实现收入11.2亿元；实现扣非归母净利润0.97亿元，同比增长128%。公司2022年目标新增订单40亿元，其中湿法设备订单20亿元以上（单片设备占比60%），2022H1公司新增订单23.62亿元，同比增长37%。 半导体湿法清洗设备业务步入高速成长期。至纯科技提供湿法设备，包含湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备。该类设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品等。目前至纯科技是国内能提供到 28nm 节点全部湿法工艺的本土供应商。目前公司湿法设备客户包括中芯国际、华虹集团、长鑫存储、华为、华润、燕东、台湾力晶等。公司已陆续在2022年交付4台 14nm 以下制程的设备。2022H1至纯半导体制程设备新增订单8.06亿元，同比增长87%；实现收入4.66亿元，同比增长73%，毛利率提升11.21pcts达35.11%。我们预计22-24年该业务收入为13.1、18.7、24.9亿元。 半导体工艺支持设备有望快速增长，长存大单彰显实力。公司该业务包括高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等。该类设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，和工艺良率息息相关，相当于工厂的心血管系统。目前公司该业务客户包括中芯国际、华虹华力、华润、士兰微、长江存储、长鑫存储、海力士、三星、台积电、力晶等。2022年8月，公司中标长江存储2.76亿元特殊气体系统包，主要供货各类工艺气体（含用于氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积等干法工艺）的特气设备。我们预计22-24年该业务收入为12.5、15.0、18.0亿元。 半导体服务业务空间广阔。（1）半导体级大宗气体整厂供气服务：公司建设国内首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂，2022年年初已顺利供气，该工厂将向先进制程客户持续供应电子级氢气、氮气、氧气。（2）晶圆再生及部件清洗服务：公司在合肥投产国内首条12英寸晶圆再生产线。 盈利预测、估值与评级。我们维持公司2022-2024年的归母净利润为3.81、5.55、7.26亿元，当前市值对应PE分别35x、24x、18x，维持“买入”评级。 风险提示：国产化进度不及预期，晶圆厂扩张不及预期，技术研发不及预期。 公司盈利预测与估值简表 1、至纯科技：中国半导体湿法清洗设备巨头公司 1.1、深耕制程设备、工艺支持设备、高纯工艺系统业务 公司的主营业务主要包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。 公司的经营战略确立为“关注核心工艺，服务关键制程”，立志成为国内领先的半导体工艺装备、工艺系统及材料提供商，并努力成为参与国际竞争的中国半导体装备企业。 公司布局的板块中，半导体板块是近年公司经营上配置资源的重点，也是目前增长最快的业务板块。在半导体板块，公司基于能力圈战略布局了制程设备、支持设备及系统集成、电子材料和专业服务四大类产品和服务，业务贯穿半导体领域用户的建厂扩厂、成熟运营以及技术升级等全生命周期。 1.1.1、半导体清洗制程设备 随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入先进制程，随着工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要超过200道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要及富有挑战性；清洗设备及工艺也必须推陈出新，使用新的物理和化学原理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。 图表1：至纯科技半导体湿法清洗设备 公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备及单片式设备覆盖目前国内产线成熟工艺及先进工艺涉及的全部湿法工艺。公司提供的湿法设备可以应用在先进工艺上，主要为存储（DRAM，3D Flash）、先进逻辑产品，还覆盖一些特殊工艺，例如薄片工艺、化合物半导体、金属剥离制程等。 在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合产业进一步发展所需的高阶工艺设备（如多反应腔-18腔，超临界清洗等）。 公司的湿法工艺设备的子系统包含工艺腔体系统、传送系统、自动控制系统、通信系统、传感控制系统、流场设计、药液循环系统、温控系统、反应药液回收环设计等。 图表2：至纯科技槽式清洗设备和其它设备 1.1.2、半导体支持设备及部件 泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt级别）的干湿化学品，这是完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。 在集成电路领域，高纯工艺系统主要包括高纯特气系统、大宗气体系统、高纯化学品系统、研磨液供应及回收系统、前驱体工艺介质系统等。 其中，各类高纯气体系统主要服务于几大干法工艺设备，各类高纯化学品主要服务于湿法工艺设备。 2021年起，公司将高纯特气设备、高纯化学品供应设备、研磨液供应设备、前驱体供应设备、工艺尾气液处理设备、干法机台气体供应模块等工艺支持性的设备作为单独的分类。该类设备作为和氧化/扩散、刻蚀、离子注入、沉积、研磨、清洗等工艺机台的工艺腔体连为一个工作系统的支持性设备，是和工艺良率息息相关的必要设备，相当于一个工厂的心血管系统。该类设备随着进口替代的展开，在高纯工艺系统中占比越来越高。公司已经成为国内该类设备的领先者。 公司已经成为国内该类设备的领先者，每年交付超过5000台套。 图表3：至纯科技半导体支持设备及部件 1.1.3、半导体服务：高纯工艺系统集成、晶圆再生及部件清洗、半导体级大宗气体整厂供气 （1）高纯工艺系统集成服务 高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。公司为集成电路制造企业及泛半导体产业提供设计、安装、测试调试服务。 （2）晶圆再生及部件清洗服务 公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，是国内首条投产的12英寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线。 合肥的工厂同时配置了为用户做湿法的工艺验证和工艺开发的联合实验室，测试设备完全对标晶圆厂，为工艺开发打好了基础。该项目采用Fab等级机台与环境，流程均依照Fab高标准执行，能够做到工艺移除量低，对晶圆损伤小，可以延长寿命。其优势在运输费用低，不需出口报关，快捷方便，客户不用积压大量晶圆及零部件，提高周转率。该项目以 14nm 晶圆厂需求为设计基础，将服务于中国半导体高阶市场。该产线年产168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生产能。 （3）半导体级大宗气体整厂供气服务 公司为国内 28nm 工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，将为用户提供至少15年的高纯大宗气体整厂供应。 公司建设的国内首个服务于12寸半导体的电子级大宗气工厂已于2021年底投入运行，2022年年初顺利供气，指标完全达标，生产稳定，逐步爬坡。该大宗气体工厂为首座完全国产化的12英寸晶圆先进制程大宗气体供应工厂。 此电子级大宗气工厂采用现场制气的方式在未来的10-15年向先进制程客户持续供应电子级氢气、氮气、氧气。至纯集成已经启动半导体制程设备侧气体供应模块（IGS）的研发项目，将公司累积了超过20年的高纯介质控制领域的技术和发展经验，服务于国内的各类干法设备厂商。至纯集成已经在武汉、合肥、北京、无锡、深圳建设成立服务办公室，快速响应并更好的服务核心客户。 图表4：至纯科技半导体级大宗气体工厂 1.2、大基金、中芯聚源、装备材料基金等战略投资者入股至纯科技半导体清洗设备子公司 子公司引入战投。公司2021年10月发布公告，交易的主要内容：上海至纯洁净系统科技股份有限公司控股子公司至微半导体（上海）有限公司（以下简称“至微科技”）拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额为42,000万元，股权转让涉及金额23,200万元。本次交易完成前，至纯科技持有至微科技的股份比例为99.34%，本次交易完成后，公司持有至微科技的股份比例为77.11%。 至微科技是承载公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。至微科技的发展得到了用户的肯定，也得到了产业投资者的重点关注。为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。 本次交易前，至微科技注册资本为45,500万元，依据增资前至微科技250,000万元的估值，本次深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称“远致星火”）、国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司、中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙企业（有限合伙）、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）、中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业（有限合伙）、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）合计向至微科技增资42,000万元，其中7,644万元计入注册资本，其余34,356万元计入资本公积。 图表5：至微科技股东（交易完成后） 本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资42,000万元后的7.95%的股权以23,200万元转让给远致星火，其中4,222.40万元计入至微科技注册资本，18,977.60万元计入资本公积。在本次远致星火受让股权的过程中，所有其他投资人均无条件放弃行使作为公司股东的优先购买权。 1.3、财务分析：半导体清洗设备业务快速增长 公司2021年的营业总收入为20.84亿元，同比增长49.18%，归母净利润为2.82亿元，同比增长8.12%，扣非归母净利润为1.62亿元，同比增长46.57%，毛利率为36.19%，净利率为13.64%。 公司2022Q2营业收入5.72亿元，同比减少16.99%；归母净利润0.59亿元，同比减少21.27%；扣非归母净利润为0.59亿元，同比增长48.26%；毛利率为36.92%，同比增长9.63pcts；净利率为10.14%，同比减少0.94pcts。 公司22H1合同负债为4.47亿元，较22Q1增长81%，存货为14.00亿元，较22Q1增长10%。 图表6：公司2017-2022H1营业收入及同比情况 图表7：公司2017-2022H1归母净利润及同比情况 图表8：公司2017-2021年扣非归母净利润及同比情况 图表9：公司2017-2021年毛利率及净利率情况 图表10：公司2021Q1-2022Q2营业收入及同比情况 图表11：公司2021Q1-2022Q2归母净利润及同比情况 2022年上半年国内疫情反复，尤其公司总部所在地上海遭遇两个半月疫情管控的背景下，公司积极配合疫情防控部门的管理举措，为上海市经信委首批复工复产白名单企业。公司在年初定下的年度新增订单40亿元的目标未因疫情扰动而改变，截至2022年6月30日，公司新增订单总额超过23亿元。 图表12：公司2021Q1-2022Q2扣非归母净利润及同比情况 图表13：公司2021Q1-2022Q2毛利率及净利率情况 图表14：至纯科技2021Q1-2022H1合同负债情况