该研究报道了U形微谐振器门式框架的非线性动力学行为,尤其是其非线性行为。该器件设计为在第1和第2面内模式之间具有2:1的内部谐振,在该模式下,通过几何非线性和静电力的软化效应,可以激活第一和第二模式之间的2:1内部共振。该研究通过实验和分析模拟数据,展示了内部共振和饱和现象,并为进一步探索此类化合物结构以及深入研究各种其他系统和应用中的饱和现象提供了希望。这项工作对于微/纳米机电系统和MEMS/NEMS等领域的研究具有重要意义。