压电纳米定位平台的高精度鲁棒控制设计

本文研究了压电纳米定位平台的控制设计问题，提出了两种控制策略：积分共振控制（IRC）和H∞控制。IRC具有最小的跟踪误差，但阶数较高；H∞控制具有更好的鲁棒性，能应对0-1000g的机械负载变化和高频信号扰动，但阶数较高。压电纳米定位系统在微机器人、微装配等领域有广泛应用，但其工作带宽通常被限制在低于系统最低固有谐振频率的10-100倍。本文的研究为解决压电纳米定位系统的共振振动、高带宽跟踪和鲁棒性问题提供了新的思路。