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与 Ar 和 H2S 等离子体混合的氮物质的活化用于直接 N 掺杂的 TMD 薄膜合成

电子设备2022-06-20Nature罗***
与 Ar 和 H2S 等离子体混合的氮物质的活化用于直接 N 掺杂的 TMD 薄膜合成

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