该研究通过使用射频磁控溅射技术合成无定形氮化碳 CNx 薄膜,作为用于 c-Si 太阳能电池的新型双功能抗反射涂层 (ARC)。CNx 薄膜具有不同的化学、结构和光学特性,反射率低至0.3%,在宽波长范围内实现的外量子效率超过90%。已实现的开路电压和短路电流密度分别为 578 mV 和 33.85 mAcm-2。涂层的 c-Si 太阳能电池的光电转换效率为 13.05%,而未涂层的 c-Si 太阳能电池的光电转换效率为 5.52%。研究表明,CNx 薄膜作为 c-Si 太阳能电池的高效 ARC 具有广阔的应用潜力。