机械设备行业半导体设备中标专题(2022年5月)：10家晶圆厂开标79台工艺设备，刻蚀国产率维持高位

2022年5月国内主流晶圆厂共开标79台工艺设备，上海积塔为扩产主力。我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理。2022年5月国内10家主流晶圆厂共开标79台工艺设备，主要来自上海积塔（54台）、华虹无锡（12台）、福建晋华（8台）、时代电气（2台）、华力集成（3台）。22年1-5月合计开标480台工艺设备，主要来自华虹无锡（280台）、上海积塔（158台）、时代电气（16台）、福建晋华（20台）、华力集成（5台）、华力微电子（1台）。 沉积、前道检测、刻蚀设备为2022年5月国内晶圆厂主要开标设备。2022年5月开标的79台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为沉积设备（28台）、前道检测设备（14台）、刻蚀设备（13台）、炉管设备（5台）、抛光设备（5台）、光刻机（4台）、清洗设备（3台）、涂胶显影机（3台）、干法去胶机（3台）、离子注入机（1台）。2022年1-5月开标的480台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（117台）、沉积设备（89台）、刻蚀设备（74台）、前道检测设备（62台）、后道测试设备（35台）、抛光设备（20台）、清洗设备（20台）、离子注入机（19台）、涂胶显影设备（17台）、干法去胶设备（17台）、光刻机（10台）。 受国内刻蚀、干法去胶、涂胶显影等设备厂家拉动，中标国产率持续提升。2022年5月中国大陆设备中标数量为47台（包含翻新、二手及外贸业务的厂家），国产率达59.5%。2022年1-5月开标的480台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计144台，占比达30.0%。分晶圆厂看，2022年1-5月，上海积塔设备国产率超50%；分设备看，2022年1-5月国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率76%）、刻蚀设备（49%）、抛光设备（45%）、清洗设备（40%）、离子注入机（37%）、涂胶显影设备（35%）。聚焦5月份国内中标厂商，北方华创（中标10台）、拓荆科技（11台）、华海清科（5台）、江苏旭宇腾（4台）、上海微电子（4台）排名靠前，持续体现国内厂家在刻蚀、清洗、干法去胶、涂胶显影等设备环节的强势地位。 投资建议：重点关注国内半导体设备龙头北方华创（002371）；高端刻蚀设备龙头中微公司（688012）；持续突破高端后道测试机的长川科技（300604）、华峰测控 （688200）；涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微（688037）；半导体薄膜沉积龙头拓荆科技（688072）；国产清洗设备领军企业盛美上海（688082）、至纯科技（603690）； 离子注入机领先企业万业企业 （600641）；半导体环保设备领先企业盛剑环境（603324）等。 风险提示：晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。 1.2022年5月10家晶圆厂开标79台工艺设备，设备国产率维持高位 1.1.2022年5月国内主流晶圆厂公开标79台设备 2022年5月国内主流晶圆厂开标79台设备，1-5月合计开标480台设备。 我们以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为统计样本，通过中国国际招标网对上述晶圆厂中标情况进行梳理（详细样本选取规则见本节末说明）。2022年5月国内10家主流晶圆厂共开标79台工艺设备，前五个月合计开标480台工艺设备。 表1：2022年5月国内主流晶圆厂开标79台设备 图1：2022年1-5月国内主流晶圆厂合计开标480台设备 样本选取规则： 1、工艺设备定义：由于半导体设备应用的工艺流程和重要性的不同，我们主要统计光刻、刻蚀、沉积、清洗等涉及核心工艺的关键设备中标情况，并将关键半导体设备区分为制程核心设备（包含光刻、刻蚀、沉积、离子注入设备）、良率提升设备（包括前道检测设备、后道测试设备、清洗设备）以及重要辅助设备（包括炉管设备、CMP抛光设备、干法去胶设备、涂胶显影设备），并排除二手翻新设备影响。 表2：半导体设备按工艺不同可分为制程核心设备、良率提升设备、辅助设备 2、样本选择：统计范围以长江存储、华力集成、华力微电子、福建晋华、华虹无锡、合肥晶合、上海积塔、中车时代、中芯绍兴、武汉新芯10家中国大陆主要的IDM或代工企业为主。以上十家企业分别覆盖存储、逻辑、驱动IC、功率、模拟等多类芯片制造，且2020-2022年均有新增招标信息，因此结果具有一定代表性和时效性。 表3：统计样本覆盖10家IDM或晶圆代工企业晶圆厂运营模式 3、数据来源：数据来源为中国国际招标网，统计单位为设备中标“台”数，为保证中标时间的领先性，我们以设备评标公示时间为准，并结合后续中标信息对评标但撤项的设备进行筛查。 1.2.分晶圆厂看：上海积塔5月开标54台设备，华虹无锡开标12台设备 分晶圆厂看，2022年5月上海积塔为主要扩产厂家，共开标54台工艺设备。 不同厂家扩产及招标节奏不同，因此不同时间段各厂家扩产差异性较大。2022年5月开标的79台设备主要来自上海积塔（54台）、华虹无锡（12台）、福建晋华（8台）、华力集成（3台）时代电气（2台），上海积塔及华虹无锡扩产贡献主要增量。 2022年1-5月，华虹无锡开标280台工艺设备，贡献主要增量。2022年1-5月开标的480台设备主要来自华虹无锡（280台）、上海积塔（158台）、时代电气（16台）、福建晋华（20台）、华力集成（5台）、华力微电子（1台），华虹无锡及上海积塔贡献主要增量。 表4：2022年5月上海积塔开标54台工艺设备，贡献主要增量 1.3.分设备看：沉积、前道检测、刻蚀设备贡献2022年5月主要扩产增量 分设备看，沉积、前道检测、刻蚀设备贡献22年5月主要扩产增量。晶圆厂设备布局往往以光刻机为核心，围绕以多台刻蚀、薄膜沉积、清洗等设备，由于不同招标批次对应设备采购种类不同，因此不同时期工艺设备招标种类也会有所不同。2022年5月开标的79台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为沉积设备（28台）、前道检测设备（14台）、刻蚀设备（13台）、炉管设备（5台）、抛光设备（5台）、光刻机（4台）、清洗设备（3台）、干法去胶设备（3台）、涂胶显影设备（3台）、离子注入机（1台）。 炉管、刻蚀、沉积设备贡献22年1-5月主要扩产增量。2022年1-5月开标的480台设备中，按照不同工艺设备开标数量从高到低排列，分别为炉管设备（117台）、沉积设备（89台）、刻蚀设备（74台）、前道检测设备（62台）、后道测试设备（35台）、离子注入机（19台）、清洗设备（20台）、抛光设备（20台）、涂胶显影设备（17台）、干法去胶设备（17台）、光刻机（10台）。 表5：2022年5月沉积、前道检测、刻蚀设备分别开标28台、14台、13台 2.设备国产率：刻蚀、干法去胶等设备国产率较高 2022年5月中国大陆设备中标数量为47台，国产率达59.49%。我们以设备中标台数计算国产率（包含翻新、二手及外贸业务的厂家），由于不同设备价值量不同，因此与实际市场规模测算的国产率有一定差异。且考虑不同晶圆厂、不同工艺设备的招标批次不同，中国大陆厂家中标频次分布未必平均，造成国产率有一定波动。近年来受益于北方华创、中微公司、盛美半导体、芯源微、屹唐半导体、至纯科技、华海清科等中国大陆厂家的不断发展，在刻蚀、沉积、清洗、抛光、干法去胶、炉管、涂胶显影等领域半导体设备中标国产率较高。从年度数据来看，2021年设备国产率达27.4%，较2020年16.8%有明显提升。2022年5月主流晶圆厂开标的79台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计47台，占比达59.49%；2022年1-5月开标的480台设备中，源自中国大陆厂家制造的设备共计144台，占比达30.0%。 图2：2022年5月中国大陆厂家中标设备共47台，国产率达59.49% 表6：2022年1-5月中国大陆厂家中标设备共144台，国产率达30.0% 2.1.分晶圆厂看：上海积塔2022年1-5月设备中标国产率超50% 分晶圆厂看，2022年1-5月，上海积塔设备国产率超50%。2022年1-5月开标的480台设备主要来自华虹无锡（280）、上海积塔（158台）、时代电气（16）、福建晋华（20台）、华力集成（5台）、华力微电子（1台）。国产设备中标数较多的晶圆厂为上海积塔（86台）、华虹无锡（41台）、时代电气（8台）、福建晋华（8台）。其中上海积塔国产率超50%，华虹无锡开标设备中国外设备占比较高，国产率约为14.6%。 表7：2022年1-5月上海积塔、华虹无锡开标国产设备分别为86、41台 表8：2022年1-5月，上海积塔设备国产率超50% 2.2.分设备看：2022年1-5月干法去胶、刻蚀、清洗、离子注入国产率较高 分设备看：22年1-5月干法去胶、刻蚀、清洗、离子注入国产率较高。按照国产设备中标数量从高到低排序，不同工艺设备国内厂家中标情况如下：刻蚀设备（36台）、沉积设备（26台）、炉管设备（25台）、干法去胶设备（13台）、前道检测设备（10台）、清洗设备（8台）、离子注入机（7台）、涂胶显影设备（6台）、后道测试设备（4台）。其中国产率较高的环节主要为干法去胶设备（国产率76%）、刻蚀设备（49%）、抛光设备（45%）、清洗设备（40%）、离子注入机（37%）、涂胶显影设备（35%）。 表9：2022年1-5月刻蚀设备中国大陆厂家共中标36台设备 表10：2022年1-5月干法去胶、刻蚀、抛光、清洗国产率较高 3.5月中标较多的中国大陆厂家为北方华创、拓荆科技、华海清科、上海微电子等 根据中国国际招标网数据，2022年5月份中标较多的中国大陆厂家为北方华创、拓荆科技、华海清科、上海微电子等（详细统计中包含翻新、二手及外贸业务的厂家，文字分析时暂不分析这部分厂家）。 【北方华创】合计中标10台：中标上海积塔10台设备，其中沉积设备6台、炉管设备2台，刻蚀设备1台、清洗设备1台。 【拓荆科技】合计中标11台：中标上海积塔11台沉积设备。 【华海清科】合计中标5台：中标上海积塔5台抛光设备。 【上海微电子】合计中标4台：中标上海积塔4台前道检测设备。 表11：5月国内中标企业为北方华创、拓荆科技、华海清科、上海微电子等 4.投资建议 重点关注国内半导体设备龙头北方华创（002371）；高端刻蚀设备龙头中微公司（688012）；持续突破高端后道测试机的长川科技（300604）、华峰测控（688200）； 涂胶显影与单片清洗不断突破前道环节的国内半导体设备小巨人芯源微 （688037）；半导体薄膜沉积龙头拓荆科技（688072）；国产清洗设备领军企业盛美上海（688082）、至纯科技（603690）；离子注入机领先企业万业企业（600641）； 半导体环保设备领先企业盛剑环境（603324）等。 5.风险提示 晶圆厂扩产不及预期、设备公司研发不及预期、中美贸易摩擦风险。