至纯科技是高端湿法设备的领先者,单片清洗设备在半导体清洗设备中的核心地位日益凸显。公司采用国际主流清洗技术Nano Spray,能提供全部28nm节点湿法设备。我们预计公司2021-2022年半导体湿法设备订单可达12/20亿元,对应清洗设备收入分别为7.68/13.90亿元,其中单片清洗设备收入在湿法设备总营收中的占比分别为40.10%/50.36%,占比正在快速提升中。公司盈利预测与估值简表显示,公司2021-2023年的归母净利润分别为3.47、3.81、5.55亿元,当前市值对应的PE分别为49x、44x、30x,维持“买入”评级。