全球薄膜沉积设备市场规模在2017-2020年间年复合增长率为11.2%,2020年市场规模约为172亿美元。PECVD是市场份额最高的设备类型,占整体市场的33%;ALD设备目前占据薄膜沉积设备市场的11%;SACVD是新兴的设备类型,占比较小。薄膜沉积设备行业呈现出高度垄断的竞争局面,行业基本由应用材料(AMAT)、ASM、泛林半导体(Lam)、东京电子(TEL)等国际巨头垄断。