微导纳米机构调研纪要

微导纳米机构调研报告 调研日期:2023-11-17 江苏微导纳米科技股份有限公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商,成立于2015年12月。公司以原子层沉积技术为核心,CVD等多种真空薄膜技术梯次发展,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用。公司业务涵盖光伏、LED、集成电路,及MEMS等泛半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域;主要产品为应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术,以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池整线的量产解决方案。公司荣获工信部2021年第三批专精特新“小巨人”企业、2021年苏南国家自主创新示范区独角兽企业、2020年度江苏省小巨人企业(制造类)等荣誉称号,并被认定为江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心。公司通过不断吸纳国内外优秀人才和保持高水平研发投入,已在微米级、纳米级薄膜沉积核心技术领域具有丰富的技术积累。 2023-11-20 董事会秘书龙文,证券事务代表朱敏晓,证券部王少峰 2023-11-17 特定对象调研,现场参观,分析师会议,电话会议 公司会议室、网络会议 广发证券股份有限公司 证券公司 - 中邮证券有限责任公司 证券公司 - 上海域秀资产管理有限公司 资产管理公司 - 东北证券股份有限公司 证券公司 - 上海鹤禧私募基金管理有限公司 基金管理公司 - 北京和聚私募基金管理有限公司 基金管理公司 - 浙江旌安投资管理有限公司 投资公司 - 瀚亚投资(香港)有限公司 投资公司 - 鲍尔赛嘉(上海)投资管理有限公司投资公司- 西藏合众易晟投资管理有限责任公司投资公司- NeumannAdvisors其它- 华泰证券股份有限公司 证券公司 - 深圳茗晖基金管理有限公司 基金管理公司 - 澄明资产 - - 中信证券股份有限公司 证券公司 - 上海民发创任企业管理有限公司 - - 深圳前海恒邦兆丰基金 - - 远信投资 - - 深圳茗辉基金管理有限公司 - - 国海证券股份有限公司 证券公司 - 华创证券有限责任公司 证券公司 - 浦银安盛基金 基金管理公司 - 西部证券股份有限公司 证券公司 - 宝盈基金 基金管理公司 - 西藏青骊资产管理有限公司 资产管理公司 - 高毅资产 资产管理公司 - 海通证券股份有限公司 证券公司 - 农银汇理基金 基金管理公司 - 中银国际证券股份有限公司 证券公司 - 长信基金 基金管理公司 - 外贸信托 信托公司 - 博时基金 基金管理公司 - 一、公司简介 微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售,向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。 在半导体领域内,公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积(ALD)设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备厂商 ,已与国内多家厂商建立了深度合作关系,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域,多项设备关键指标达到国际先进水平。在光伏领域内,公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业,已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一,与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。同时,公司跟随下游厂商的量产节奏,持续优化XBC、钙钛矿/异质结叠层 电池等新一代高效电池技术。根据公开的市场数据统计,公司ALD产品已连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一。 2023年前三季度,公司根据订单节奏安排产品交付并推进客户验收,前期在手订单陆续实现收入转化,专用设备产品验收数量增长导致公司营业收入较上年同期较快增长,从而使得公司业绩相比去年同期实现较大规模增长。2023年前三季度公司实现营业收入10.22亿元,同比增加165.30%;实现归属于母公司所有者的净利润1.55亿元,同比增加1.58亿元。 二、主要交流问题及回复1、公司半导体领域内新增订单的客户和产品类型有何变化? 截至2023年9月30日,公司半导体在手订单同比增长412.15%,增速高于公司整体订单增速水平,占比进一步扩大。2023年 ,公司半导体设备在存储领域的拓展成效显著,新增客户主要为国内几家知名企业,产品类别既包括了ALD设备也包括CVD设备。2、公司产品品类拓展的方向是什么? 公司已覆盖半导体、光伏、柔性电子等不同的下游应用市场。半导体领域,公司将瞄准国内外半导体技术和工艺的发展方向,构建和完善ALD、CVD等多种真空薄膜技术产品体系。光伏领域,公司将加速推广以ALD为核心的工艺整线策略和持续推进新一代高效光伏电池技术开发 。同时,公司依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会。多领域、多品类产品覆盖能够一定程度平抑各细分市场波动对公司业绩带来的影响,同时,不断拓宽公司市场规模和成长空间。 3、公司存货水平较高的主要原因是什么? 公司薄膜沉积设备主要应用于半导体晶圆、光伏电池片的生产环节,直接影响半导体器件性能及光伏电池片的光电转换效率,是下游客户产线的关键工艺设备。因此,客户对产品的验证要求较高、验证周期较长。截至2023年9月30日,公司存货账面价值28.32亿元,主 要是发出商品,后续验收后将会逐步转化为营业收入。4、国内存储芯片领域对薄膜沉积设备需求主要来自哪里? 一方面,随着DRAM、3DNAND及新型存储器芯片等先进半导体技术的快速发展,芯片内部结构更加复杂,所需要的薄膜层数越来越多,对绝缘介质薄膜、导电金属薄膜的材料种类和性能参数不断提出新的要求。生产环节对于沉积薄膜的厚度、精度、成分和结构的要求提高,高性能薄膜沉积设备采购需求将会持续增加。另一方面,在国产化进程加快的背景下,下游客户新增资本开支和设备产线迭代,将推动国产薄 膜沉积设备需求快速增加。5、在第三代半导体方面,公司取得了哪些进展? 第三代半导体是公司半导体领域内的主要布局方向之一,目前公司相关产品已取得了多家知名客户的订单,可应用于第三代化合物半导体功率器件领域,保证器件具有良好的漏电和击穿性能,具有广阔的市场前景。未来,公司的目标是抢占该领域内市场发展的制高点。6、公司在新型显示领域内的产品、前景如何? 在新型显示领域,公司产品主要应用于硅基OLED的阻水阻氧保护层制备。薄膜沉积环节是影响其量产的关键技术之一。硅基OLED具有尺寸小、便携性等特点,主要用于近眼显示系统和投影显示,市场前景广阔且发展迅速。根据市场研究机构MarketsandMarketsTM的研究报告 ,2018-2024年,硅基OLED行业年均复合增长率将达到41.14%。 自2022年开始,公司量产型ALD设备已陆续获得了京东方、合肥视涯、浙江宏禧等客户的订单并出货,部分产品已获客户验收。目前,公司在该领域内的市场开拓处于起步阶段,占整体订单的比例还较小。 7、公司如何看待目前光伏领域BC电池的发展?IBC以及TBC(TOPCon技术与IBC技术结合的BC类太阳能电池结构)等BC类太阳能电池,最大的特点是P-N结和金属接触都处于电池的背面,正面没有金属电极遮挡的影响,因此具有更高的短路电流,同时背面可以容许较宽的金属栅线来降低串联电阻从而提高填充因子,加上电池前 表面场以及良好钝化作用带来的开路电压增益,使得这种正面无遮挡的电池就拥有了高转换效率。从度电成本等各方面综合来看,BC电池在性能方面十分优越,前景良好。 自2022年开始,公司应用于BC电池制造的ALD设备陆续获得来自隆基和爱旭的订单,并逐步发货,部分设备已于2023年通过客户验收 ,产品进入产业化应用阶段。根据公开市场数据计算,在爱旭、隆基已投产和拟投产的BC电池生产线中,公司的ALD产品占比保持领先。