深度受益半导体设备多腔化趋势，加热盘业务放量在即

公司研究/公司深度 2026年06月09日 深度受益半导体设备多腔化趋势，加热盘业务放量在即 半导体 ——先锋精科（688605）首次覆盖报告 报告原因： 投资要点： 投资建议：首次覆盖，给予“买入”评级。我们预计公司2026-2028年归母净利润分别实现2.68/3.46/4.34亿元，同比增长41.6%/29.3%/25.5%；对应PE分别为56.1/43.4/34.6倍。受益于半导体设备国产化加速及下游设备厂商订单增长，公司工艺部件与结构部件业务有望持续放量；同时涂层、陶瓷加热盘等高附加值产品占比提升，驱动盈利能力持续改善。公司2026–2028年估值低于可比公司平均水平，配置价值凸显。 公司与行业情况：1）公司：公司是国内少数实现7nm及以下刻蚀与薄膜沉积设备关键零部件量产配套的企业之一，深度绑定北方华创、中微公司、拓荆科技等头部半导体设备客户，产品覆盖腔体、内衬、匀气盘、加热器等核心工艺零部件，并持续推进金属加热盘、陶瓷加热盘及静电吸盘等高附加值产品布局。2）行业：根据SEMI，中国大陆半导体设备市场规模将由2020年的1,295亿元增长至2025年的3,451亿元。其中，薄膜沉积与刻蚀设备合计市场规模约1,518亿元，占整体设备市场的44%。进一步拆分设备价值量，反应腔、VTM及其他核心零部件合计占比约59%，对应市场空间约903亿元。公司聚焦反应腔、传输腔等核心零部件领域，受益于设备市场扩容、国产替代深化及零部件价值量提升，成长空间广阔。 存储扩产与先进工艺驱动设备多腔化，零部件价值量与业绩弹性同步放大。1）设备多腔化已成为半导体设备的重要演进方向，核心目标是在有限洁净室面积内提升产能密度和设备吞吐效率，尤其适用于单期扩产规模普遍超过100kwpm的存储产线。2）国内头部设备厂商正加速推进多腔化升级，中微刻蚀设备已由1-2腔演进至最高8腔平台，北方华创刻蚀及PVD设备亦持续向多腔架构升级。随着刻蚀、沉积等工艺复杂度提升，多腔化将带动反应腔、传输腔、内衬及匀气盘等核心零部件需求增长。作为国内领先的腔体及核心零部件供应商，公司有望充分受益于设备多腔化趋势带来的需求扩容。 半导体设备零部件产业格局：全球市场高度集中，国产厂商加速突破高端配套壁垒，高端功能部件国产替代加速。金属加热器、陶瓷加热器及静电吸盘等核心功能部件长期由海外厂商主导，国产化率仍处于较低水平。其中，金属精密零部件市场主要由Ferrotec、UCT及京鼎精密占据，静电吸盘市场则由AMAT、LAM、SHINKO及TOTO等头部厂商主导，市场集中度超过90%。随着国内设备厂商市场份额提升以及零部件企业逐步完成客户验证并进入批量导入阶段，高端功能部件国产替代有望加速推进。 相关研究 《神开股份（002278）动态跟踪：深海装备持续突破，看好公司AI油服出海进展》2026-05-28 《燕麦科技（688312）25年报点评：软板测试业务景气，硅光与半导体测试放量在即》2026-04-14《中微公司（688012.SH）25年业绩快报点评：刻蚀业务稳健增长、薄膜业务加速放量》2026-03-03 核心假设：中国半导体设备市场行业景气度持续；公司加热盘及静电吸盘产能释放顺利。 股价表现的催化剂：中国晶圆代工厂及存储厂资本开支超预期；公司陶瓷加热盘产品客户验证取得突破，实现批量导入；公司新产能顺利爬坡，高端产品放量。 风险提示：中国晶圆代工厂及存储原厂扩产不及预期风险；产品验证进度不及预期风险；半导体设备零部件行业竞争加剧风险。 证券分析师 财务数据及盈利预测（对应2026年6月8日收盘价，总股本2.02亿股） 王凯S0820524120002021-32229888-25522wangkai526@ajzq.com 投资案件 投资评级与估值 首次覆盖，给予“买入”评级。我们预计公司2026-2028年归母净利润分别实现2.68/3.46/4.34亿元，同比增长41.6%/29.3%/25.5%；对应PE分别为56.1/43.4/34.6倍。受益于半导体设备国产化加速及下游设备厂商订单增长，公司工艺部件与结构部件业务有望持续放量；同时涂层、陶瓷加热盘等高附加值产品占比提升，驱动盈利能力持续改善。当前公司2026–2028年估值低于可比公司平均水平，配置价值凸显。 关键假设点 收入：公司营收增长由工艺部件、结构部件双主业主导，表面处理高附加值新业务逐步兑现增量。其中：1）工艺部件业务26-28E收入11.62/14.88/18.60亿元，同比+30.0%/28.0%/25.0%； 结 构 部 件 业 务26-28E收 入3.21/4.17/5.01亿 元 ， 同 比+35.0%/30.0%/20.0%。中微公司、北方华创等核心客户订单有望保持持续景气，公司配套精密耗材国产替代持续落地，后期随基数抬升增速缓步回落。2)表面处理业务表26-28E收入分别为0.20/0.30/0.41亿元，同比+50.0%/45.0%/40.0%。随着高附加值涂层工艺持续突破、客户认证加速落地，收入增速显著高于传统业务，2026年起收入规模快速爬坡。 毛利：展望2026-2028年，我们预计公司综合毛利率将由29.2%提升至30.0%，呈稳步上行趋势。一方面，涂层、高端工艺耗材、陶瓷加热器等高附加值产品逐步放量，收入占比持续提升；另一方面，公司产品布局由传统设备零部件向工艺类耗材及功能部件延伸，业务模式向“设备零部件+耗材”双轮驱动升级，带动整体盈利能力增强。 有别于大众的认识 股价表现的催化剂 中国晶圆代工厂及存储厂资本开支超预期；公司陶瓷加热盘产品客户验证取得突破，实现批量导入；公司新产能顺利爬坡，高端产品放量。 核心假设风险 中国晶圆代工厂及存储原厂扩产不及预期风险；产品验证进度不及预期风险；半导体设备零部件行业竞争加剧风险。 目录 1.先锋精科：中国先进制程零部件核心供应商......................................6 1.1发展历程：聚焦刻蚀和薄膜沉积设备核心零部件近18载.................................................61.2产品结构：以关键工艺部件为核心，拓展高附加值产品...................................................71.3财务分析：业绩随行业景气共振，盈利具韧性.................................................................10 2.半导体设备景气上行，多腔化为零部件带来增量机遇.....................12 2.1半导体设备市场持续扩容，头部设备商有望份额业绩双升.............................................122.2刻蚀与薄膜沉积设备多腔化为零部件供应商带来增量.....................................................162.3设备零部件格局：全球成熟完善，国产化程度较低.........................................................20 3.公司深耕涂层工艺，加热器和卡盘产能持续释放.............................23 3.1公司长期深耕氧化物陶瓷涂层，表面处理工艺领先.........................................................233.2加热器产能持续爬坡，国产替代指日可待.........................................................................24 4.盈利预测与估值分析..........................................................................31 4.1盈利预测..................................................................................................................................314.2估值分析..................................................................................................................................33 5.风险提示.............................................................................................34 图表目录 图表1：先锋精科前十大股东（截至2026一季报）...............................................................6图表2：先锋精科及其子（孙）公司布局.................................................................................7图表3：公司主要产品结构.........................................................................................................7图表4：2021-2025年公司分产品营业收入...............................................................................7图表5：2025年公司分产品收入占比........................................................................................7图表6：以刻蚀设备为例，公司主要产品对应关系图示.........................................................8图表7：公司关键工艺部件及核心性能指标情况.....................................................................8图表8：2021-2025年公司工艺部件销量及均价.......................................................................9图表9：2025年公司结构部件销量及均价................................................................................9图表10：2021-2025年公司其他部件销量及均价...................................................................10图表11：2023-2025年公司模组产品销量及均价...................................................................10图表12：2021-2025年公司营业收入及YoY............................................................................10图表13：2021-2025年公司归母净利润及YoY...