ICP刻蚀设备快速放量，多品线研发持续推进布局产业发展

中微公司（688012）发布了2022年半年报业绩，营业收入同比增长47.3%至19.7亿元，归母净利润同比增长17.9%至4.67亿元，扣非归母净利润同比增长615.3%至4.41亿元。公司人效持续提升，毛利率、销售费用率、管理费用率均有所改善。刻蚀设备收入同比增长51.5%，其中CCP刻蚀设备收入增长14.0%，ICP刻蚀设备收入增长414%，处于快速放量阶段。公司正在积极布局并拓展刻蚀设备在动态存储器的应用，已经取得客户批量订单。ICP刻蚀设备方面，公司已经进入超15家客户的生产线进行100多个ICP刻蚀工艺的验证，高输出率的Primo Twin-star系列已经在国内领先客户生产线上完成认证，订单量持续增加。

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