半导体设备月度跟踪（2022年5月）：招标数据再创佳绩，高成长性带来高确定性

设备板块驱动力：透过情绪，回归基本面。半导体设备板块2021年Q4以来深度回调，部分龙头个股最高跌幅达50%以上，但与之相反的是靓丽的业绩，1Q22板块总营收YOY+39%，增速位居电子各细分板块之首。所以本轮设备板块下跌无关乎基本面，本质是市场情绪弱化后，PS估值缺乏安全垫所致。而当下伴随疫情受控，需求复苏，整体半导体板块情绪回暖，设备板块估值亦有率先拔升的机遇。支撑设备公司业绩高速增长的是国内各大产线的全面国产化，2022年Q2以来，除了龙头公司，诸多二三线晶圆厂均启动了设备招标，国产设备中标数据亮眼。 招标跟踪：疫情扰动，不改国产化大势。 5月招标数据再创佳绩，共计录得128台晶圆制造设备招标完成，较4月环比增长21%，主要来自华虹无锡12寸产线和积塔特色工艺产线项目的扩产。2022年1-5月，统计范围内的晶圆厂共计完成设备招标604台，力度可观。 国产化率方面，在我们统计范围内，晶圆厂2022年以来完成的设备招标中，国产设备占比约33%。其中，涂胶显影设备、干法设备、CMP设备国产化率相对较高。 新增招标方面，2022年5月新增设备招标248台，包括华虹无锡、积塔、华润微（重庆）、福建晋华、燕东微等晶圆厂。此外，中芯国际临港项目一期已在厂房建设中，发布了多项施工招标，扩产有序推进。 国产设备厂商中标情况： 1）北方华创14台，包括薄膜/湿法/干法刻蚀/炉管；2）中微1台，为干法刻蚀设备；3）拓荆科技11台，均为薄膜设备；4）华海清科7台，均为CMP设备；5）芯源微17台，包括涂胶显影/湿法设备；6）屹唐2台，包括炉管/干法去胶设备。 展望：国产设备突破周期的成长性。据Gartner预测，2022年全球半导体资本开支达将到1853亿美元的新高，同比增长22%的同时亦呈现增速趋缓。但我们认为国内市场的高成长性有望使其不受全球半导体周期影响。展望中长期，一方面我们看到华虹、晶合、积塔等本土晶圆厂相继推出融资计划，未来资本开支有望继续维持高位；另一方面，国产化率亦有望加速上行。截至2022年Q1，A股设备板块上市公司营收连续7个季度维持40-60%左右同比增长，远超市场规模总体增速，进口替代的突破趋势已然形成。 投资建议：建议关注设备龙头：北方华创、拓荆科技-U、芯源微、中微公司、万业企业、盛美上海、至纯科技、华海清科（拟上市）；零部件龙头：江丰电子、富创精密（拟上市） 风险提示：半导体行业下游需求不及预期、晶圆厂扩产进度不及预期、设备研发进展不及预期。 重点公司盈利预测、估值与评级 一、2022年5月设备采购景气度上行 我们统计了本土晶圆厂公开招标信息中前道晶圆制造、量测设备，后道封测设备中标结果。 仪器、真空泵、尾气处理、化学品供应设备等厂务设备和辅助设备数量较多，未涵盖在内，另做列示。 结果显示，2022年5月以上晶圆厂采购情景气度上行，单月完成设备招标127台，较4月环比增长20%，其中前道核心设备占比较多。本月新增主要由华虹无锡和积塔贡献。分别为光刻机3台，涂胶显影设备18台，薄膜设备30台，干法刻蚀/去胶设备16台，离子注入设备7台，CMP设备9台，炉管设备7台，湿法设备8台，量测/检测设备17台，后道封装测试设备12台。 2022年1-5月，统计范围内的晶圆厂共计完成设备招标604台，力度可观。 表1：2022年1-5月大陆主要晶圆厂设备招标完成量（台） 此外，5月我们统计到少量厂务设备及晶圆制造辅助设备的招标完成，共计30台，主要来自燕东微的招标项目。包括仪器5台，真空泵25台。 表2：2022年1-5月大陆主要晶圆厂辅助设备及厂务设备招标完成量（台） 国产化率方面，在我们统计范围内晶圆厂2022年设备国产化率约33%。其中，涂胶显影设备、干法设备、CMP设备实现较高比例的国产替代（其中国产量测设备主要来自二手设备厂商吉姆西，不代表实际国产化情况，实际国产化率仍处于较低水平）。 表3：2022年1-5月大陆主要晶圆厂设备采购国产化情况（台） 二、主要晶圆厂招标完成结果明细 1.华虹/华力：扩产有序推进 华虹方面，2022年5月共计完成设备招标25台，包括华虹无锡23台，上海华力2台，分别为薄膜设备4台，干法刻蚀/去胶设备6台，离子注入设备1台，CMP设备2台，炉管设备1台，湿法设备2台，量测/检测设备5台，后道封装测试设备4台。其中，国产设备6台，进口设备19台，国产化率24%。 表4：2022年1-5月华虹设备招标采购情况（台） 表5：2022年1-5月华虹设备招标采购国产化情况（台） 2.福建晋华：持续小批量招标 福建晋华方面，12寸内存晶圆厂FAB1在持续小批量招标中，2022年5月共计完成设备招标9台，包括薄膜设备1台，离子注入设备1台，炉管设备2台，量测/检测设备5台。其中，国产设备4台，进口设备5台，国产化率44%。 表6：2022年1-5月福建晋华设备招标采购情况（台） 表7：2022年1-5月福建晋华设备招标采购国产化情况（台） 3.积塔：特色工艺产线扩建 积塔方面，其特色工艺产线在5月大力度招标设备。2022年5月共计完成设备招标59台，包括光刻设备3台，涂胶显影设备3台，薄膜设备23台，干法刻蚀设备9台，CMP设备5台，炉管设备3台，湿法设备3台，量测/检测设备4台，后道设备6台。其中进口设备11台，国产设备48台。 表8：2022年1-5月积塔设备招标采购情况（台） 表9：2022年1-5月积塔设备招标采购国产化情况（台） 三、新增招标情况 据我们统计，5月新增设备招标248台，包括华虹无锡34台，上海华力1台，积塔63台，华润微（重庆）137台，福建晋华2台，燕东微11台。 此外，中芯国际临港项目一期已在厂房建设中，发布了多项施工招标，扩产有序推进。 表10：2022年5月新增招标情况（台） 四、国产设备厂商中标明细 从5月中标结果来看，国产设备厂商中标数前几名为北方华创、芯源微、拓荆科技、华海清科。分品类来看：1）北方华创在薄膜、炉管、湿法、干法设备四大产品线均有可观的中标量； 2）芯源微涂胶显影设备有大批量中标，共计16台；3）拓荆科技、华海清科均在各自专精的单一品类有较高的中标量。 表11：2022年1-5月国产设备厂商中标情况（台） 五、投资建议 2021年下游晶圆厂积极扩产推动了半导体设备招标采购量的增长，而22年仍将是本土晶圆产线加速落地的一年，设备招标数据逐月增长。此外，在当前仍旧较低的国产化率基数上，我们看到部分设备国产化率超过50%。我们认为在扩产+国产化两大动力叠加作用下，设备板块有望维持高增，建议关注北方华创、中微公司、拓荆科技-U、芯源微、盛美上海、万业企业。 表12：半导体设备重点关注个股 六、风险提示 1）半导体行业下游需求不及预期。2021年下游受益汽车电子等应用兴起，需求旺盛增长，若后期增速放缓，将影响设备需求。 2）晶圆厂扩产进度不及预期。晶圆厂扩产的顺利进行涉及到设备采购、工艺整合等多方面因素，若扩产进度不及预期将影响上游设备需求。 3）设备研发进展不及预期。国产设备仍在起步阶段， 28nm 节点诸多设备处于验证环节，如果研发进度不及预期将影响相关上市公司业绩表现。