事件点评：湿法设备顺利交付，成功进军半导体领域

本研报主要关注了公司成功交付3套集成电路全自动槽式湿法清洗设备至客户进行大批量生产的消息。作为光伏电池设备的领先企业，公司顺应产品发展路径，努力向半导体设备领域延伸。公司孙公司创微微电子，专门从事集成电路湿法清洗工艺设备的研发、生产和销售，设备主要包含槽式及单晶圆湿法清洗设备，除此次交付的设备外，正在设计制造中的设备还包含了用于MicroLED、第三代化合物半导体及集成电路IDM厂的槽式清洗设备及相关附属设备，涵盖了集成电路200mm以下近70%湿法工艺步骤，包含有光刻胶去除、氧化膜刻蚀、金属膜刻蚀、炉管前清洗及有机溶剂清洗等。本次湿法清洗设备的交付，表明公司已经成功实现从光伏设备设计制造向泛半导体及半导体行业的拓展。

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